主な用途

　プラズマ

技術情報●低温プラズマにおけるエッチング

技術情報●プラズマとは…?、マイクロ波によるプラズマの生成

製品情報加熱機 バッチ式（高周波/マイクロ波）
製品情報高周波発振器
製品情報マイクロ波発振器