マイクロ波プラズマ処理
(1) プラズマとは…?
強い電磁場或いは非常に高温の条件下にある気体は、イオンや電子及び中性粒子からなる部分的に電離した状態にあり、電気的には中性である。このような状態を「プラズマ」と呼ばれ固体、液体及び気体とも性質が異なることから第四の物質状態と言われている。蛍光灯や放電灯、自然界でのオーロラや稲妻、更には太陽・恒星などもプラズマ状態にある。
図20.2.1 マイクロ波プラズマ発生方式
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