マイクロ波プラズマ処理
マイクロ波によるプラズマの生成(2)

(2) マイクロ波によるプラズマの生成（前ページより続く）

尚、マイクロ波放電であるこの方式を無極放電と称しており、電極材料による汚染が無いため、純度の高いプラズマが得られ、電極の寿命を云々する必要も無い。高周波放電は、先に記したように高周波とプラズマが共存するため、被処理物に熱的影響を与えることがあり、半導体などのエッチング処理には障害となることがある。

表20.2.1 は高周波プラズマとマイクロ波プラズマの特徴・違いを比較・纏めたものである。

表20.2.1 高周波プラズマとマイクロ波プラズマの比較