マグネトロン、クライストロンなどのマイクロ波管を利用した周波数９１５ＭＨｚ、或いは２４５０ＭＨｚのマイクロ波エネルギーを発生させるものである。工業用としてのマイクロ波発振機は出力別に下記のようなものがある。

マイクロ波照射部から戻ってくる反射電力を吸収するもので、マイクロ波発振機内の発振管であるマグネトロンやクライストロンを保護する機器で、許容電力１.５ｋＷクラスは強制空冷、３ｋＷ以上は水冷式となっている。

マイクロ波導波管系の入射電力(発振機⇒マイクロ波照射部)及び反射電力（マイクロ波照射部⇒発振機）をモニターするもので、方向性結合器、指示計、クリスタルマウント（ダイオード）、同軸無反射終端器、同軸ケーブルなどより成っている。

マイクロ波導波管系の反射電力を少なくし、マイクロ波吸収効率をアップするための調整機器である。

導波管の途中でマイクロ波電力を二分割するものである。但し、これを逆に利用して二つのマイクロ波電力を合成することは出来ない。

マイクロ波発振機とマイクロ波照射部の間を接続しマイクロ波エネルギーを伝送するものである。接続途中にアイソレータ、方向性結合器、整合器、固定分配器、高周波結合器などの各種導波管機器が挿入される。

被加熱物にマイクロ波エネルギーを照射する部分である。処理目的によりバッチ式、コンベヤ式（ベルトコンベヤ、ローラコンベヤ、スラットコンベヤなど）、導波管式、共振器式、加圧・減圧式など各種のものがある。